MEMS

Parylene系列薄膜在MEMS领域中主要作为结构材料来进行使用。微流体系统是MEMS中重要的组成部分,Parylene系列薄膜的优异性能使Parylene系列薄膜能应用于微流体系统中,可以涂覆在微流体系统中的器件上来将因为流体与器件不相容带来的不良影响降低,也可以制成一些微小的机械部件用于微流体系统的微阀、微泵、微通道中。因为Parylene系列薄膜采用真空气相沉积法成膜,可以全面涂覆在器件上,而且Parylene系列薄膜的静/动摩擦系数较低,这样就允许当Parylene系列薄膜可以涂覆在MEMS的微机械器件上时,可以降低摩擦,提高使用寿命和性能。